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名称/标题; TANAKA半导体用气体控制系统

SUPER TORR 系列

S-TORR系列是,专门为百万比特应用而开发的超高纯度气体用调整器。
基于在半导体加工气体线方面有业绩的TORR系列调整器技术而开发销售10年来一直广受好评。
把轻便化,小型化做为目标而设计的“S-TORRⅡ系列”,再加上根据用途不同而规格细分化的“S-TORRⅢ系列”充实了产品种类。


主要特长:

在0.1x10-6m等级10的无尘室进行组装。(除S-TORRⅢ非抛光品以外)

连接部分采用焊接(主体,接头),金属密封,从而减少了泄露量。

通过连接气体金属部分的合成电离抛光处理(注1)以及内容积的缩小化实现了脱气以及颗粒的极少化。 

  • [S-TORRⅡ系列]应用于腐蚀性气体,拥有2大分类:连接气体的金属部位使用了高耐蚀耐热镍基合的[1800系列],在重要部位使用了耐蚀耐热镍基合金的 [E1800系列]。

    这延长了在腐蚀性气体上的使用期限以及提高了安全性(注2)。 


    为了应用与腐蚀性气体,[S-TORRⅢ系列]将在重要部位采用了耐蚀耐热镍基合金的 [S-H系列]作为标准品。

    S-TORRⅢ系列为了应用于负压控制以及低蒸汽压气体,备有[隔膜/sheet连接型]的A10系列。 

    备有适合各种气体的树脂,因此可处理好每个极其细微的部分。 

    S-TORRⅡ,Ⅲ系列内部装有过滤器,因此可以大幅减少内部泄露(除S-TORRH50WV,S-TORR150系列以外)。 

    实施过氧泄露试验,颗粒试验等全套试验(注:S-TORRⅢ系列颗粒量的保证功能另选配)。 

    虽然小型但是能实现高性能的流量特性。 

    全部机种均可制造为高压气体认证品。


    (注1)S-TORRⅢ系列根据需求可应用在3种抛光规格。

    (注2)强腐蚀性气体,腐蚀性气体的保质期根据用户的使用方法存在很大的差异, Sus与耐蚀耐热镍基合金相比较而言,使用后者极大减少了故障的发生率。另外,还可以减少压力表,隔膜等壁薄部分受侵蚀而发生的泄露现象。


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