名称/标题; TANAKA半导体用气体控制系统
SUPER TORR 系列
S-TORR系列是，专门为百万比特应用而开发的超高纯度气体用调整器。
基于在半导体加工气体线方面有业绩的TORR系列调整器技术而开发销售10年来一直广受好评。
把轻便化，小型化做为目标而设计的“S-TORRⅡ系列”，再加上根据用途不同而规格细分化的“S-TORRⅢ系列”充实了产品种类。
主要特长：
在0.1x10-6m等级10的无尘室进行组装。（除S-TORRⅢ非抛光品以外）
连接部分采用焊接（主体，接头），金属密封，从而减少了泄露量。
通过连接气体金属部分的合成电离抛光处理（注1）以及内容积的缩小化实现了脱气以及颗粒的极少化。
[S-TORRⅡ系列]应用于腐蚀性气体，拥有2大分类：连接气体的金属部位使用了高耐蚀耐热镍基合的[1800系列]，在重要部位使用了耐蚀耐热镍基合金的 [E1800系列]。
这延长了在腐蚀性气体上的使用期限以及提高了安全性（注2）。
为了应用与腐蚀性气体，[S-TORRⅢ系列]将在重要部位采用了耐蚀耐热镍基合金的 [S-H系列]作为标准品。
S-TORRⅢ系列为了应用于负压控制以及低蒸汽压气体，备有[隔膜/sheet连接型]的A10系列。
备有适合各种气体的树脂，因此可处理好每个极其细微的部分。
S-TORRⅡ，Ⅲ系列内部装有过滤器，因此可以大幅减少内部泄露（除S-TORRH50WV，S-TORR150系列以外）。
实施过氧泄露试验，颗粒试验等全套试验（注：S-TORRⅢ系列颗粒量的保证功能另选配）。
虽然小型但是能实现高性能的流量特性。
全部机种均可制造为高压气体认证品。
（注1）S-TORRⅢ系列根据需求可应用在3种抛光规格。
（注2）强腐蚀性气体，腐蚀性气体的保质期根据用户的使用方法存在很大的差异， Sus与耐蚀耐热镍基合金相比较而言，使用后者极大减少了故障的发生率。另外，还可以减少压力表，隔膜等壁薄部分受侵蚀而发生的泄露现象。
